自動清潔cmos的方法討論！

sf-1224

大家好，最近碰到一個自動清潔cmos的難題，請熟悉此工藝的工程師幫忙支支招，謝謝！詳細下面表述：
背      景：一個類似照相機的設備，在無塵室進行裝配，其中有個清潔cmos的工藝。
清潔要求：a.無明顯劃痕、臟污或者點塵；b.不損傷器件
現(xiàn)有工藝：清潔→檢測。人工用棉簽/細纖維無塵布蘸無水乙醇（≥99.7%）清潔，再用10倍顯微鏡觀察效果。效果不錯！
問       題:如何實現(xiàn)自動化？有沒有更好的方式清潔？如何檢測？
目前方案：利用清潔機構+細纖維無塵布（H009 6"*6"）+無水乙醇/純水的方式清潔；CCD檢測。（不知道靠不靠譜，能不能達到10倍顯微鏡的放大效果？）
方案說明：產(chǎn)品上方放置一個移動平臺，串行完成清潔、抽塵和檢測工作。注：此方案目前在考慮階段，還有很多不足，請大家輕拍！

非標男

沒接觸過，頂一下！

執(zhí)★著

個人愚見哈：
1.那個產(chǎn)品不是透明或半透明的吧，CCD檢測估計前面要裝個放大鏡才行（這個是個風險，可以簡單的只弄這部分讓軟件的測試一下效果）。如果檢測的背面能加反光燈，就能檢測比頭發(fā)絲還小的小點。主要看塵埃和產(chǎn)品那個面的顏色反差大不大，如果很接近的話，那就比較不好檢測到。
2.無水乙醇擦拭后揮發(fā)速度是否大于你產(chǎn)品移動速度，否則要烘/吹干，在進入檢測。
3.能不能產(chǎn)品動，無塵布袋整個裝置不動，分為一次和二次清潔，主要考慮產(chǎn)品在輸送線上的夾緊和定位了（看不清你整個產(chǎn)品的結構咋樣的，個人愚見）。

遠祥

產(chǎn)品比較小，定位輸送要設計的穩(wěn)妥一些，精度穩(wěn)定性要著重考慮！

sf-1224

|執(zhí)★著發(fā)表于 03-26 11:15個人愚見哈：<br>
1.那個產(chǎn)品不是透明或半透明的吧，CCD檢測估計前面要裝個放大鏡才行（這個是個風險，可以簡單的只弄這部分讓軟件的測試一下效果）。如果檢測的背面能加反光燈，就能檢測比頭發(fā)絲還小的小點。主要看塵埃和產(chǎn)品那個面的顏色反差大不大，如果很接近的話，那就比較不好檢測到。<br>
2.無水乙醇擦拭后揮發(fā)速度是否大于你產(chǎn)品移動速度，否則要烘/吹干，在進入檢測。<br>
3.能不能產(chǎn)品動，無塵布袋整個裝置不動，分為一次和二次清潔，主要考慮產(chǎn)品在輸送線上的夾緊和定位了（看不清你整個產(chǎn)品的結構咋樣的，個人愚見）。<br>

謝謝你建議.1.產(chǎn)品為不透明，這個加放大鏡的方法還是要測試看效果的！2.速干基本得2S，這個提醒的好！3.產(chǎn)品動，倒是個不錯的選擇！可以考慮，謝謝！

sf-1224

|遠祥發(fā)表于 03-26 19:15產(chǎn)品比較小，定位輸送要設計的穩(wěn)妥一些，精度穩(wěn)定性要著重考慮！

這個在樣機上試過了，謝謝提醒！

舒恩Schun

請問下這個清潔裝置效果怎么樣？尺寸有多大？在非無塵室環(huán)境可行嗎？謝謝！

舒恩Schun

請問下這個清潔裝置效果怎么樣？尺寸有多大？在非無塵室環(huán)境可行嗎？謝謝！

sf-1224

舒恩Schun 發(fā)表于 2021-5-7 09:23
請問下這個清潔裝置效果怎么樣？尺寸有多大？在非無塵室環(huán)境可行嗎？謝謝！

1.目前這個方案還沒有推進，主要問題是清潔合格標準沒有明確。目前用3D相機是可以檢測灰塵的（0.02mm大�。�。
2.非無塵室一般不適合裝sensor吧！會有很多灰塵掉落，我覺得擦不干凈的��！