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發(fā)表于 2024-4-27 14:56:40
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激光干涉儀是在機臺外架好你的激光干涉儀，在運動軸上固定反射鏡，在靜止?fàn)顟B(tài)下調(diào)好干涉儀，確保干涉儀發(fā)出去的激光打在反射鏡上在返回干涉儀，以此為基準(zhǔn)點。運動軸單方向運動，比如給軸和干涉儀都設(shè)定的是每次跑5毫米，那么實際上軸跑了4、95毫米，那么就少了0.05毫米，激光干涉儀接收到激光，通過光在空氣中的傳播速度，所以當(dāng)他接收到第一次反射鏡飯回來的數(shù)據(jù)時，他就知道，大概少了0.05毫米，為什么是大概，還要考慮其他變量，比如空氣濕度等等，但是它本身是由設(shè)定的，所以能給出0.05毫米的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。8 v1 j- F& Q7 b
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