求助大佬，氣浮平臺(tái)的設(shè)計(jì)

一路向北ck

請教各位大佬，是否有圖片中的高精度氣浮平臺(tái)的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)

一路向北ck

目前行業(yè)內(nèi)很多此類臺(tái)子，想學(xué)習(xí)一下

一路向北ck

也想和大家一起交流交流

大白小白

lz先說說自己的理解。

沒運(yùn)氣的小男孩

在之前的項(xiàng)目中接觸過一些，談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，對環(huán)境和氣源有一定要求；承載能力可以按照2kg/cm^2估算；氣膜厚度一般控制在10um左右，氣膜剛度一般通過增加預(yù)載的方式來調(diào)整；節(jié)流孔通常有小孔節(jié)流和多孔材料兩種；國外品牌Aerotech、Newway等。樓主如果有詳細(xì)需求可以具體探討一下。

一路向北ck

之前我設(shè)計(jì)一臺(tái)設(shè)備，用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊（多孔材料），這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié)，對裝配要求較高，第一次做出來的精度不高，達(dá)不到同行做出來的重復(fù)定位精度0.1-0.3um。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)比較緊湊，看著不像用的空氣軸承塊。
猜測用的小孔節(jié)流的方案，想請教一下有沒有這方面的經(jīng)驗(yàn)可以交流分享的

一路向北ck

大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復(fù)！我的經(jīng)驗(yàn)如下

一路向北ck

沒運(yùn)氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28
在之前的項(xiàng)目中接觸過一些，談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，對環(huán)境和氣源有一定要求；承 ...

感謝回復(fù)！
多孔材料的機(jī)臺(tái)我設(shè)計(jì)過一臺(tái)，精度沒達(dá)到預(yù)期。
目前想了解一下小孔節(jié)流的方案，想具體請教一下，能否留個(gè)聯(lián)系方式。

1027726686

這種微型氣浮平臺(tái)確實(shí)用直線電機(jī)更好一些，直線電機(jī)建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配，環(huán)境溫度需要控制的很好建議增加溫補(bǔ)，不然影響精度。材料盡可能統(tǒng)一化，傳動(dòng)及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。

一路向北ck

1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺(tái)確實(shí)用直線電機(jī)更好一些，直線電機(jī)建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配，環(huán)境溫度需要 ...

感謝分享！
你是做運(yùn)動(dòng)平臺(tái)這塊的嗎？