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定義
7 n5 P( O) V4 r1 預(yù)防性維護(hù):為消除設(shè)備失效和生產(chǎn)的計(jì)劃外中斷的原因而策劃的措施,作為制造過(guò)程設(shè)計(jì)的一項(xiàng)輸出。
# p" T' \4 y; P8 a/ m2 預(yù)見性維護(hù):基于過(guò)程數(shù)據(jù),通過(guò)預(yù)測(cè)可能的失效模式以避免維護(hù)性問(wèn)題的活動(dòng)。! D3 K: x t- F$ c- R S9 `
3一級(jí)維護(hù)保養(yǎng):指對(duì)設(shè)備進(jìn)行日常的清潔、維護(hù)、點(diǎn)檢。如機(jī)臺(tái)清潔(頂側(cè)底內(nèi)外)、疏通潤(rùn)滑檢查、檢查泵體油位、檢查儀表等。頻度為每工作日,其目的是防止和及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行前、運(yùn)行中的不正常情況并予以排除。( S( G" `# u8 c. Z. H/ q' i- r
4二級(jí)維護(hù)保養(yǎng):指由設(shè)備管理者或設(shè)備擔(dān)當(dāng)按照計(jì)劃對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期的維修、維護(hù)。如:難度大的擦洗設(shè)備、校準(zhǔn)精度、更換易損件、緊固、更換磨損的部件、局部拆卸和檢查等。維護(hù)周期一般為一個(gè)月及以上的項(xiàng)目。4 F" A& E- E6 y5 B5 V9 [( `7 U1 C
5三級(jí)維護(hù)保養(yǎng):需要外部資源進(jìn)行的維護(hù)。如請(qǐng)廠商至公司對(duì)曝光機(jī)進(jìn)行維護(hù)、塵埃離子計(jì)數(shù)器送到外部作精密調(diào)整和校驗(yàn)等。維護(hù)周期一般為半年、一年及以上的項(xiàng)目。 |
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