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求助大佬,氣浮平臺(tái)的設(shè)計(jì)

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發(fā)布時(shí)間: 2022-5-24 16:23

正文摘要:

本帖最后由 一路向北ck 于 2022-5-24 16:24 編輯 請(qǐng)教各位大佬,是否有圖片中的高精度氣浮平臺(tái)的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)

回復(fù)

沒運(yùn)氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-25 16:38:55
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18
之前我設(shè)計(jì)一臺(tái)設(shè)備,用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊(多孔材料),這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié),對(duì)裝配要求 ...

單獨(dú)從圖片上無(wú)法準(zhǔn)確判斷采用何種氣浮軸承。如果單純重復(fù)定位精度0.1~0.3um,兩種軸承其實(shí)都可以實(shí)現(xiàn),加工和裝配工藝是一方面,樓上說的溫度補(bǔ)償也是非常重要的一點(diǎn),還有測(cè)量環(huán)境,材料選擇,光柵尺的選擇,控制算法,需要多方面考慮。QQ:564384682
1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 15:16:18
研發(fā)三坐標(biāo),有共通之處。
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 14:24:33
1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺(tái)確實(shí)用直線電機(jī)更好一些,直線電機(jī)建議用無(wú)鐵芯,光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配,環(huán)境溫度需要 ...

感謝分享!
你是做運(yùn)動(dòng)平臺(tái)這塊的嗎?
1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44:41
這種微型氣浮平臺(tái)確實(shí)用直線電機(jī)更好一些,直線電機(jī)建議用無(wú)鐵芯,光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配,環(huán)境溫度需要控制的很好建議增加溫補(bǔ),不然影響精度。材料盡可能統(tǒng)一化,傳動(dòng)及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:21:19
沒運(yùn)氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28
在之前的項(xiàng)目中接觸過一些,談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),對(duì)環(huán)境和氣源有一定要求;承 ...

感謝回復(fù)!
多孔材料的機(jī)臺(tái)我設(shè)計(jì)過一臺(tái),精度沒達(dá)到預(yù)期。
目前想了解一下小孔節(jié)流的方案,想具體請(qǐng)教一下,能否留個(gè)聯(lián)系方式。
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18:54
大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復(fù)!我的經(jīng)驗(yàn)如下
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18:18
之前我設(shè)計(jì)一臺(tái)設(shè)備,用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊(多孔材料),這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié),對(duì)裝配要求較高,第一次做出來(lái)的精度不高,達(dá)不到同行做出來(lái)的重復(fù)定位精度0.1-0.3um。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)比較緊湊,看著不像用的空氣軸承塊。
猜測(cè)用的小孔節(jié)流的方案,想請(qǐng)教一下有沒有這方面的經(jīng)驗(yàn)可以交流分享的
沒運(yùn)氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28:31
在之前的項(xiàng)目中接觸過一些,談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),對(duì)環(huán)境和氣源有一定要求;承載能力可以按照2kg/cm^2估算;氣膜厚度一般控制在10um左右,氣膜剛度一般通過增加預(yù)載的方式來(lái)調(diào)整;節(jié)流孔通常有小孔節(jié)流和多孔材料兩種;國(guó)外品牌Aerotech、Newway等。樓主如果有詳細(xì)需求可以具體探討一下。
大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57:24
lz先說說自己的理解。

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