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發(fā)表于 2021-4-12 12:02:11
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我是瑞沃靜電技術(shù)專業(yè)做靜電吸盤研發(fā)和生產(chǎn)的我來(lái)回答你的問(wèn)題:靜電吸盤也叫靜電卡盤、ESC吸盤或Electrostatic-CHUCK。工作原理是通過(guò)給靜電吸盤電極施加一定的電勢(shì),使得在靜電吸盤的電極上和搬運(yùn)物體對(duì)應(yīng)的位置產(chǎn)生極性相反的電荷,從而利用電場(chǎng)力將需要搬運(yùn)的物體吸附在靜電卡盤的表面上,靜電吸盤在真空及離子體環(huán)境下仍保持良好的吸附力。
靜電吸盤廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、顯示面板真空蒸鍍,蝕刻,離子注入等工藝和TFT/OLED真空貼合制程,在自動(dòng)化行業(yè)可以輕松吸取柔軟透氣的物體,如針織布、網(wǎng)孔布、鏤空的電路板等。
東莞瑞沃靜電吸盤使用平面整體吸附方式用力均勻,對(duì)輕薄柔軟的物料吸附不產(chǎn)生壓痕及褶皺,吸附平整不變形。靜電吸盤可以做成平板機(jī)載式、一體化手持式。具體應(yīng)用請(qǐng)看我的個(gè)人資料電話溝通。
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