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樓主 |
發(fā)表于 2010-3-29 22:29:49
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和大家分享一下激光干涉儀的工作原理：
: J' s8 n- r: M3 ^8 O% W0 B 以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
6 _3 B2 b: S) ]雙頻激光干涉儀原理8 R( N Q' F8 d2 U* v% ]6 _
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雙頻激光干涉儀是一種新型激光干涉儀,
" S- }# _5 a( m- N5 [4 L/ ? 基本原理與單頻激光干涉儀不同。如圖所示，它是利用光的干涉原理和多卜勒效應(yīng)（此處指由于振源相對(duì)運(yùn)動(dòng)而發(fā)生的頻率變化的現(xiàn)象）產(chǎn)生頻差的原理來(lái)進(jìn)行位移測(cè)量的。( M6 o( C' P2 K2 r
激光器放在軸向磁場(chǎng)內(nèi)，發(fā)出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同，但頻率不同，分別表示為f1和f2。經(jīng)偏振分光鏡，一部分反射光經(jīng)檢偏器射入光電元件D1作為基準(zhǔn)頻率f基 (f基＝f1－f2)。頻率為f２的光束完全反射，經(jīng)濾光器變?yōu)榫�(xiàn)偏振光f２，投射到固定棱鏡并反射到偏振分光鏡處。頻率為f1的光束折射經(jīng)濾光器變?yōu)榫�(xiàn)偏振光f1，投射到移動(dòng)棱鏡后也反射到偏振分光鏡處，兩者產(chǎn)生相干光束。若移動(dòng)棱鏡移動(dòng)，則反射光的頻率由于多卜勒效應(yīng)而發(fā)生變化，其頻差為多卜勒頻差Δf。
+ o- g! h* _/ M; r% k- a2 y& o 頻率為f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后，經(jīng)檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測(cè)量頻率f測(cè)＝f２－(f1±Δf)的光電流，這路光電流與經(jīng)光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時(shí)經(jīng)放大器進(jìn)入計(jì)算機(jī)，經(jīng)減法器和計(jì)數(shù)器，即可算出差值±Δf，并按公式計(jì)算出移動(dòng)棱鏡的移動(dòng)速度v和移動(dòng)距離l。 |
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樓主: 小北方2010
發(fā)表于 2010-3-30 22:29:17
