中國自產(chǎn)的光刻機是什么精度的

君越168

不要看別人說什么，看看高精度機床有國產(chǎn)的嘛？實驗室的東西沒有用，聽說也是用國外的二手設(shè)備組裝的

華2017

看用在哪里吧！芯片不是越小越好的。

尹志春

1米左右，應(yīng)該能達(dá)到，
中國在這方面還是很差的，

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四重曝光 等效7-5納米

救贖.

光刻機難的不是某一個設(shè)備的精度 而是一整套系統(tǒng)的最低精度  因為老美會一次次的封鎖你，（我也不是很懂 大概意思如此）比如要生產(chǎn)芯片要原材料 原材料生產(chǎn)設(shè)備 零部件 零部件生產(chǎn)設(shè)備等等一系列設(shè)備產(chǎn)出物最后在放到光刻機上 出來的成功率多少的高等級芯片，比如現(xiàn)在老美封鎖光刻機 等你光刻機成熟了就封鎖你原材料等等一系列的，因為要保證最后產(chǎn)品的精度，肯定是前面一系列設(shè)備累計公差得到的最小公差  個人理解