真空泄露？真空腔體

小袁好累

請教大家一個真空不保壓的問題？腔室16L，真空腔體在出廠檢驗過漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質(zhì)是304不銹鋼，腔體的門板是鋁合金，內(nèi)表面電解拋光過。
現(xiàn)在情況是，空抽，介質(zhì)是空氣，關(guān)閉擋板閥后，理論來說是保壓狀態(tài)，
但結(jié)果是關(guān)閉擋板閥就開始升壓，從10pa緩慢升壓，至10小時后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒有發(fā)現(xiàn)漏點，對了，總共抽真空20幾次，都是用常規(guī)空氣破真空的

gunianyisheng

有沒有可能真空內(nèi)部虛漏

gunianyisheng

常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

ericshen12

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

你好啊，這方面資料是在什么書籍上有介紹啊。

駱馬湖鐵匠

腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

游離縉云

內(nèi)壁有沒有拋光，焊接是內(nèi)焊嗎，有沒有死角儲存有空氣？

小火鷹

烘烤過嗎