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基于光纖的低相干輪廓儀(與類似顯微鏡的輪廓儀不同),適合在QA實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境中獲取形貌信息(圖1)。他們以微米級(jí)精度,以1-30 kHz的高速度和更快的速度獲取較長(zhǎng)剖形面的表面數(shù)據(jù)。他們的非接觸式探頭(圖2),探針的工作距離從30-150 mm,可放置在距離輪廓儀機(jī)箱很遠(yuǎn)的地方進(jìn)行檢測(cè)。在生產(chǎn)線上,它們可以安裝在滑軌上,以便沿網(wǎng)絡(luò)生產(chǎn)線上進(jìn)行掃描。探頭小巧堅(jiān)固,可承受惡劣環(huán)境,如輻射,高溫或極寒。1 e) N, `+ \; \; n& N/ W/ ?
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8 d. K% A+ q/ E/ |' c低相干干涉儀是一種光學(xué)裝置,它將紅外范圍1300nm的寬帶光源分成兩個(gè)獨(dú)立的光束。一個(gè)光束指向物體表面,另一個(gè)光束指向干涉儀中參照物的一面鏡子。探頭接收并重新組合來自樣品和參照物的反射光,并記錄所產(chǎn)生的干涉,從中可以檢索到有關(guān)物體的各種信息:其表面形狀,粗糙度和波紋,以及單層或多層涂層厚度。 | % H* d* m2 F, C% w" Y- D! i' ?
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