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一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案，社友幫我看看可行嗎

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發(fā)布時(shí)間: 2014-5-25 21:15

正文摘要:

一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案，用來(lái)清洗晶圓片，用高壓水清洗，伺服電機(jī)帶動(dòng)晶圓片旋轉(zhuǎn)，1000多轉(zhuǎn)每分鐘，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉(zhuǎn)這個(gè)結(jié)構(gòu)怎么樣，基準(zhǔn)板是焊接到機(jī)架上的，打算焊接后再加工一刀。

回復(fù)

我很愛機(jī)械設(shè)計(jì) 發(fā)表于 2014-5-28 09:21:24
路過(guò)學(xué)習(xí)～
desa2002 發(fā)表于 2014-5-28 08:29:51
學(xué)習(xí)
沉睡的紅楓葉 發(fā)表于 2014-5-27 22:14:50
值得學(xué)習(xí)
丹楓911 發(fā)表于 2014-5-26 22:54:48
八點(diǎn)半 發(fā)表于 2014-5-26 10:47
就一個(gè)普通轉(zhuǎn)臺(tái)就行啊，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高，主要?jiǎng)悠胶庖�，還有真空吸附要效果好
八點(diǎn)半 發(fā)表于 2014-5-26 10:47:32
就一個(gè)普通轉(zhuǎn)臺(tái)就行啊，也不需要太大的精度吧！
亂試佳人 發(fā)表于 2014-5-26 08:31:06
我看錯(cuò)了，我以為你要清洗這個(gè)行業(yè)呢！
走路empty 發(fā)表于 2014-5-25 23:04:42
藍(lán)寶石 ？
可以參考 涂膠機(jī) 清洗結(jié)構(gòu)
迷茫的維修 發(fā)表于 2014-5-25 21:19:26
沒(méi)看清，感覺類似立車的主軸
你參考一下
再有就是，你想得到什么樣的精度
選什么樣的軸承
端跳，經(jīng)跳
需要考慮什么工況，盤子會(huì)不會(huì)飄？
純屬瞎猜

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