機(jī)械社區(qū)

標(biāo)題: 超精密加工 [打印本頁(yè)]
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 09:43
標(biāo)題: 超精密加工
本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 編輯
8 G8 C5 t" S" b$ G9 O8 g) }/ D; ~* I, h! H# U
我們研究室做超精密加工研究，機(jī)床加工精度達(dá)到1μm以下，表面粗糙度5-10nm，一刀就出鏡面。有興趣的朋友，可以交流交流。1 {  y6 o, y6 y, O& ^4 R0 U
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3 [$ q, c4 H* k! h1 {+ T+ v
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3 U2 W  C) I) f. P) n5 t
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( @0 d# [( l/ @/ c. a
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- Y9 C- e7 ?* u* j/ }
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8 y9 M8 d1 G) f( G0 ^2 N8 [5 T
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9 ]$ o9 o3 W5 h4 e
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- S5 w6 U7 `# v9 H/ d5 d) |4 j; x

2 m! m5 m3 }% I) C* c8 p* F9 P) @% C: i: u, ]7 Q& Y: K
作者: qq707459754    時(shí)間: 2017-10-10 09:53
清華？ 牛掰
作者: leyfa7@126.com    時(shí)間: 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？4 P) t6 D7 H( {! O3 [; r
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
; ~, y0 I% n6 s; a& l! L. E最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少？7 j: K+ N& J0 ]( ]
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:02
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
0 R2 R: H" d. G5 \- N3 g0 i! L2 q3 J用的什么刀具？9 n# H( P/ ^/ F1 X3 M
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
) Q  Y; J! n5 s最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少？
7 |4 E7 J7 b+ I# r2 O% G0 U) K% S' B  K
用天然金剛石刀具，粗糙度能達(dá)到5-10nm，精度<1μm
: h4 B% {' _1 w. }& F
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 10:04
大理石床身，看起來(lái)高端啊。
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:04
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01- i! `1 n/ j' f% [5 U% s4 t7 I4 z
用的什么刀具？
$ C$ s) |8 D3 W5 V) w  k) ?粗糙度和精度可以代替磨削嗎？+ N' R& w& c% ?% d4 m
最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少？
( I* C1 E+ c2 j# D0 o' d5 E( F; j
最長(zhǎng)150mm
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 10:08
千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤(pán)？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:12
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
$ r- {: T8 V* g3 g. R千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤(pán)？
: R* j2 e6 _0 G$ _
是的
作者: ﹏ˋ仰望    時(shí)間: 2017-10-10 10:14
看著很牛啊
作者: dengxiangxi    時(shí)間: 2017-10-10 10:15
超精密切削加工
" i) b# K1 U) _主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過(guò)精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達(dá)0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。
! k# @8 p/ S% \/ Y' z超精密特種加工3 @5 F; Z: J+ @$ A
加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時(shí)，切削加工方法已不能適應(yīng)，需要借助特種加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結(jié)合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點(diǎn)是對(duì)表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見(jiàn)光刻）進(jìn)行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。
作者: 所羅門(mén)_x    時(shí)間: 2017-10-10 10:16
不錯(cuò) ，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床，曲線磨床，慢絲都是進(jìn)口的，國(guó)內(nèi)做的精度差的老遠(yuǎn)，這技術(shù)代溝起碼20年，現(xiàn)在10年過(guò)去了還是沒(méi)聽(tīng)說(shuō)國(guó)內(nèi)能做這么精密的設(shè)備的�，F(xiàn)在的機(jī)器人腳步跟的倒是挺緊的，看看效果也是醉了，編寫(xiě)設(shè)定好的套路走流程都敢稱為智能！還登上大雅之堂了！這勇氣真是佩服!還號(hào)稱已經(jīng)達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)！其實(shí)就是人家的初級(jí)階段。
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:22
所羅門(mén)_x 發(fā)表于 2017-10-10 10:16
0 m% {9 Q% H) Z0 U1 m4 v  I不錯(cuò) ，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床，曲線磨床， ...
9 w9 w7 l, _! N$ J' a" D3 V: v9 p
機(jī)床的光柵、伺服、數(shù)控、部分電器是國(guó)外，其余都是國(guó)內(nèi)，機(jī)床也是自己搭的7 t% o. H) e+ z2 e( Q
作者: 鑫森淼炎垚    時(shí)間: 2017-10-10 10:49
能實(shí)現(xiàn)嗎？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:51
鑫森淼炎垚 發(fā)表于 2017-10-10 10:49
8 g/ v( H- b5 q能實(shí)現(xiàn)嗎？

3 K$ d1 S  C, j實(shí)現(xiàn)什么？2 U, {8 d; e" }& p. I6 c5 g! T+ h
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:53
所羅門(mén)_x 發(fā)表于 2017-10-10 10:16
! b( E* f4 Q9 |8 W) k不錯(cuò) ，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床，曲線磨床， ...
3 ]' f- H# I* y" U1 ~8 ~+ j# ]( D
機(jī)身是國(guó)內(nèi)的; r: S: J, U0 B3 y5 e* K
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 11:10
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 10:53/ |$ b. {6 e; d4 {; f9 X# {% P9 e
機(jī)身是國(guó)內(nèi)的

! [6 \; k+ l( `3 w床身是青島的么: I: q3 a5 w, T# @
作者: 鑫森淼炎垚    時(shí)間: 2017-10-10 11:15
能實(shí)現(xiàn)“一刀就出鏡面”嗎？如何解決溫度、震動(dòng)、刀損等的影響。
作者: 趙君度    時(shí)間: 2017-10-10 11:32
羨慕
作者: 郭向東    時(shí)間: 2017-10-10 11:36
高大上
作者: tzhero    時(shí)間: 2017-10-10 11:47
高大上羨慕
作者: LYY635432086    時(shí)間: 2017-10-10 11:52
代表中國(guó)加工行業(yè)最高技術(shù)
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 12:52
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 11:10. ~' L/ o+ j; C! n. T: r
床身是青島的么
' u. p' F7 y3 o! o4 @
機(jī)身是自己做的% M! U( b( B) n1 q
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 12:54
鑫森淼炎垚 發(fā)表于 2017-10-10 11:15% Q5 X6 J# I' K5 T8 z% w
能實(shí)現(xiàn)“一刀就出鏡面”嗎？如何解決溫度、震動(dòng)、刀損等的影響。

7 @8 b) d1 K, ?$ h; k$ u9 J是的，一刀出鏡面，這機(jī)床用氣浮和大理石所以隔震效果很好，金剛石刀具切銅、鋁不磨損. u+ M4 t" C/ i4 {7 l) T, {
作者: 月光狼人    時(shí)間: 2017-10-10 14:52
膜拜   6 k1 E, I; H2 }8 G1 D$ h3 u8 O
作者: 宋仲龍    時(shí)間: 2017-10-10 15:22
應(yīng)該是專用機(jī)床，車削拋物面反射鏡。這是你們的試驗(yàn)還是要做產(chǎn)品？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 15:26
宋仲龍 發(fā)表于 2017-10-10 15:22% x4 }4 W6 U* D5 M
應(yīng)該是專用機(jī)床，車削拋物面反射鏡。這是你們的試驗(yàn)還是要做產(chǎn)品？
( ?# L9 e5 O: j$ t$ b0 U
用來(lái)做實(shí)驗(yàn)，也用來(lái)接活: W, K' Z# y. r0 Z
作者: 湘湖旁邊    時(shí)間: 2017-10-10 15:26
長(zhǎng)見(jiàn)識(shí)了
作者: 宋仲龍    時(shí)間: 2017-10-10 16:01
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 15:26) L, c6 y# [) Q1 R6 O- V
用來(lái)做實(shí)驗(yàn)，也用來(lái)接活
: N  e1 |1 v: Z" L/ V9 N
鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費(fèi)多少銀兩。你們用學(xué)校的公帑搞私活，有想法。
- l! V( ]0 D6 `* c5 v3 @
作者: 獨(dú)自莫憑欄    時(shí)間: 2017-10-10 16:48
LZ的工作和清華大學(xué)IC裝備精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)研究中心的光刻機(jī)在技術(shù)上有什么相似之處么？
作者: xiaobing86203    時(shí)間: 2017-10-10 17:49
做做試驗(yàn)不算什么，批量生產(chǎn)才是真得牛
作者: 喂我袋鹽    時(shí)間: 2017-10-10 21:14
xiaobing86203 發(fā)表于 2017-10-10 17:49
$ _. D+ _8 r, o0 o- B做做試驗(yàn)不算什么，批量生產(chǎn)才是真得牛

! E6 {' E; c! `4 {精辟！換下的刀，給個(gè)低價(jià)，打包長(zhǎng)年收購(gòu)，哈哈！5 T/ Z( ~  z  e
作者: 喂我袋鹽    時(shí)間: 2017-10-10 21:16
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 10:028 j& m/ ^0 f' {, B
用天然金剛石刀具，粗糙度能達(dá)到5-10nm，精度
& e( Y! n0 U6 T8 T1 e+ U
牛牛！) q) Q. H( ~) L8 b

: b" p/ k) l/ T  E; J" a/ TPCD，PVD試過(guò)能達(dá)到什么水平？
7 ~/ B+ k4 D% g
" B  U/ q- \7 [3 c# L, Z
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-11 10:21
配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了& U' Z4 l) N1 |# G1 ^. A
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:25
喂我袋鹽 發(fā)表于 2017-10-10 21:16
% k- Z' \9 Q) y- A* D牛牛！
& B/ A- `4 p& U: \: G. ^
- I9 w- a% T5 C# Q8 x0 ]PCD，PVD試過(guò)能達(dá)到什么水平？

" e0 d3 l3 d/ @' ^/ s+ \! L不行，PCD刃磨半徑不行
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:26
宋仲龍 發(fā)表于 2017-10-10 16:017 q9 d, f8 c3 K4 {8 M2 D0 e
鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費(fèi)多少銀兩。你們用學(xué)校的公帑搞私活，有想法。
% v* ^# H( m  w
不是私活，收的費(fèi)用全部用在科研里
: W! D% T! ~5 O$ ?. ~" @( L! u
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:27
獨(dú)自莫憑欄 發(fā)表于 2017-10-10 16:48
) |- h5 d" S- Y; A% k; KLZ的工作和清華大學(xué)IC裝備精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)研究中心的光刻機(jī)在技術(shù)上有什么相似之處么？

( u9 v' X5 r& e不了解
% j6 J2 l) L) I7 K! @
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:27
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 10:218 y9 k% N0 D1 Y8 s7 |' x$ Q: E
配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了

8 A# o# r9 Y! ]  c上圖看看
& z. L1 ^6 l* T  _9 Y, r' H8 F
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-11 12:35
camvinh 發(fā)表于 2017-10-11 11:271 `' z- t& Y+ s( p3 J
上圖看看

5 Z7 T5 p( n+ |$ n1 W  g/ Z[attach]435304[/attach]
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 12:50
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 12:35

: A) o  l( U, A. ]* M' y是什么牌子啊？
6 V$ h- H9 C+ n1 _4 m
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 14:22
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 12:35

6 |- e4 H, q& `; O/ h. K' |是叫冰凍盤(pán)嗎？剛載網(wǎng)上了解，這技術(shù)挺厲害的，這個(gè)要多少錢(qián)？
作者: 孟梓666    時(shí)間: 2017-10-11 15:46
長(zhǎng)見(jiàn)識(shí)了！
作者: 藍(lán)色格    時(shí)間: 2017-10-13 14:19
厲害了
作者: 山吹    時(shí)間: 2017-10-14 10:27
牛
) D  z, ^0 {, e; J( c" x6 _( x什么材料？
作者: 愛(ài)吃板栗的小云    時(shí)間: 2017-10-17 14:06
現(xiàn)在的大理石床身和礦物鑄造吸震性能很好
作者: ywjianghu    時(shí)間: 2017-10-21 15:52
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 10:21" `9 {8 V4 }9 W- I3 {& [
配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了

2 i( j! A' J6 n4 r. _; o$ O; Q 介紹一下你的夾具呢。技術(shù)含量高的軟廣告，在機(jī)械社區(qū)不但不扣分，相反有加分呢。
& d0 ]5 ^+ `6 E, Q  T; X7 I; ?  ?7 L7 l7 g: b/ p
作者: ywjianghu    時(shí)間: 2017-10-21 15:57
樓主能否介紹一下運(yùn)動(dòng)模組呢？# l# l2 f8 c2 a( F1 z+ @' g
譬如，靜壓還是氣浮，滑塊什么形式，導(dǎo)軌什么形式，絲杠還是直線電機(jī)。等等。. U- P3 Q! q2 I) n3 }
謝謝！
作者: zzzz0000    時(shí)間: 2017-10-21 17:01
吹氣干切削加工嗎，能提供加工參數(shù)參考一下嗎
作者: 拖拉機(jī)ww    時(shí)間: 2017-10-22 10:48
水在凝固時(shí)，體積不是會(huì)膨脹嗎？
作者: 藍(lán)天心    時(shí)間: 2017-10-22 11:52
你這個(gè)機(jī)床，如果車個(gè)球，面輪廓度能到多少？
+ {+ P0 S4 _+ X' W9 t# W7 t2 j3 B$ G* `
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-22 19:22
拖拉機(jī)ww 發(fā)表于 2017-10-22 10:48+ P, X8 g& X( i2 g# w$ \, G9 n
水在凝固時(shí)，體積不是會(huì)膨脹嗎？

& d2 l. Z6 e* [& \[attach]436331[/attach]  \7 I" \* C8 i" c2 w
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-23 09:47
ywjianghu 發(fā)表于 2017-10-21 15:57
3 G$ R3 ~! I4 X  Z& m& a1 g5 m9 u! \樓主能否介紹一下運(yùn)動(dòng)模組呢？
/ T, A3 f7 C* L! \% ?譬如，靜壓還是氣浮，滑塊什么形式，導(dǎo)軌什么形式，絲杠還是直線電機(jī)。等等 ...
4 ^1 S2 N$ e# d- ^0 ~0 N
氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)
5 e" ?) D* R7 L
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-23 09:52
藍(lán)天心 發(fā)表于 2017-10-22 11:527 T. b) m7 H& H
你這個(gè)機(jī)床，如果車個(gè)球，面輪廓度能到多少？

  R, V: P  v$ A# A) P我們這機(jī)床有B旋轉(zhuǎn)軸，可以用旋轉(zhuǎn)軸直接加工圓球不用插補(bǔ)。我們B軸對(duì)刀的精度也很高，尺寸誤差小于1μm，你可以看我們發(fā)表的《超精密數(shù)控機(jī)床B旋轉(zhuǎn)軸的可量化對(duì)刀方法》  s8 I2 ^; T) F) Z
作者: 科技的瘋狂    時(shí)間: 2017-11-2 15:16
看著好神奇
作者: 羊咪咪    時(shí)間: 2017-11-6 15:23
牛，學(xué)習(xí)。
, C8 y9 l$ ]. s0 B
作者: Garfield-Zhang    時(shí)間: 2017-11-8 17:46
你好！請(qǐng)問(wèn)你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工。; V7 c" Q' y5 ^: X+ ^
作者: 小劉jg    時(shí)間: 2017-11-8 22:00
樓主，你好你這主軸是你們自己制作的嗎，我們公司常年加工青銅軸套（月產(chǎn)量40萬(wàn)只），特別需要這樣的機(jī)床。
$ W+ X9 ?; }4 W8 `0 P  D+ j
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-9 11:37
Garfield-Zhang 發(fā)表于 2017-11-8 17:46
# {/ u8 ~, ~/ v# F你好！請(qǐng)問(wèn)你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工。

- Q# B8 j4 i3 N7 G3 \/ |5 v你好！可以的，我們有微細(xì)電火花加工機(jī)床，可以加工，加我微信 yjr824
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-9 11:38
小劉jg 發(fā)表于 2017-11-8 22:00
4 |" G) {% D1 r3 }5 b4 U+ `! X樓主，你好你這主軸是你們自己制作的嗎，我們公司常年加工青銅軸套（月產(chǎn)量40萬(wàn)只），特別需要這樣的機(jī)床。 ...
- {+ U$ X2 B5 D1 S# Y8 U
是的，我們和外企一起合作做的，加我微信詳談 yjr824
8 E- h6 r; }# J/ |
作者: 明天，_wlt25    時(shí)間: 2017-11-13 10:48
不便宜吶，高精尖
作者: wx_dnnbAEnQ    時(shí)間: 2017-11-29 13:02
牛叉
作者: yangyang178    時(shí)間: 2017-11-29 13:37
只能在實(shí)驗(yàn)室看看了，常規(guī)行業(yè)不敢用
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-29 14:10
yangyang178 發(fā)表于 2017-11-29 13:37
; G: K! V, z6 b/ o6 q4 r' q" z9 y( ]只能在實(shí)驗(yàn)室看看了，常規(guī)行業(yè)不敢用

* T" R) S8 [3 l: \& B要加工可以聯(lián)系我喔! `3 V6 }% L- I
作者: fangyd    時(shí)間: 2017-12-5 13:27
本帖最后由 fangyd 于 2017-12-5 13:34 編輯 & Y! ?3 O7 j  `3 p( K, ]
9 _+ C$ c' g7 X, ^1 e
怎么聯(lián)系你啊？
作者: 宋小科95    時(shí)間: 2017-12-5 14:24
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-12-5 14:44
fangyd 發(fā)表于 2017-12-5 13:27
* e/ B) t& k" l1 B' b怎么聯(lián)系你��？

- N5 |# x% @( T' m* f$ z" R& Z+ m% P加我的微信 yjr824' h% q4 {! G; c+ |& I
作者: zidaneyc    時(shí)間: 2017-12-5 15:45
學(xué)習(xí)
作者: 海普超精張燕    時(shí)間: 2019-3-27 14:56
我們公司-北京海普瑞森超精密技術(shù)有限公司，自主研制的超精密單點(diǎn)金剛石車床就能滿足這種使用，而且批量化產(chǎn)品，非實(shí)驗(yàn)室階段哦，歡迎朋友們來(lái)電咨詢。我的電話是18910106210。( u& f' }* F& S
我們單點(diǎn)車加工的元件表面粗糙度可達(dá)納米級(jí)，口徑最大可達(dá)到350mm，可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件�？杉庸ゃ~、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹(shù)脂、PMMA等材料。在三軸聯(lián)動(dòng)模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對(duì)稱元件和自由曲面，配以特殊刀具可以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。
作者: 王光軍    時(shí)間: 2019-3-27 17:25
真牛，非常佩服, g) \5 [  z2 s) p  O




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