機(jī)械社區(qū)

標(biāo)題: 一種硅片傳輸機(jī)械手 [打印本頁]

作者: 丹楓911    時間: 2013-5-30 20:28
標(biāo)題: 一種硅片傳輸機(jī)械手
種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的硅片傳輸機(jī)械手
作者: gaolaodajiayou    時間: 2013-5-30 22:13
看的不是很清楚,半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍,現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動。
作者: 長江漂流    時間: 2013-5-30 22:16
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。
作者: WAST1989    時間: 2013-5-30 22:42
gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13 4 [$ A5 d: i1 x3 X* Z$ p
看的不是很清楚,半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍,現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動。

6 w# O+ u7 M* N3 d8 C$ n( y斗膽問大俠,懸浮移動是什么原理,也是控制氣量嗎?
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作者: xmdesign    時間: 2013-5-31 07:14
WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42
6 c6 n" s" Z  E6 q斗膽問大俠,懸浮移動是什么原理,也是控制氣量嗎?
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用的是中學(xué)物理實驗的氣懸浮方式,在傳動展路過過一臺成品機(jī)器的展位,可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
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作者: 931673326    時間: 2013-5-31 21:20
看看
作者: 天氣    時間: 2015-6-17 22:49
感覺稍顯笨重。。。
作者: bitter007    時間: 2016-7-19 16:59
xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:142 }  t# r; o- |5 R6 B  J
用的是中學(xué)物理實驗的氣懸浮方式,在傳動展路過過一臺成品機(jī)器的展位,可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
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展會上見過磁懸浮傳動的
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