機(jī)械社區(qū)

哈工大為國內(nèi)頂尖學(xué)府，此前在14納米光刻機(jī)上就研發(fā)成功了重要的光刻機(jī)技術(shù)，為國產(chǎn)14納米光刻機(jī)的量產(chǎn)提供了有力支持，近日哈工大再傳來炸裂性的消息，研發(fā)成功EUV光刻機(jī)光源，這將是美國和ASML以LCC EUV聯(lián)盟壟斷EUV光刻機(jī)之外的首次。

據(jù)稱哈工大研發(fā)的“電能轉(zhuǎn)化等離子體線路”技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)DPP-EUV光源，為國產(chǎn)的EUV光刻機(jī)打開了一扇門，這也是EUV光刻機(jī)的重要核心技術(shù)之一。

國產(chǎn)芯片制造工藝一直無法突破7納米，就在于美國阻止ASML對(duì)中國出售EUV光刻機(jī)，早在2018年中芯國際就向ASML支付了1.2億美元訂購EUV光刻機(jī)，然而至今ASML都未向中芯國際交付EUV光刻機(jī)。

去年下半年以來，美國又進(jìn)一步加強(qiáng)了光刻機(jī)出口限制，要求ASML不要對(duì)中國出售14納米及以下的EUV光刻機(jī)，早前ASML表示它可以對(duì)中國出售1980Di光刻機(jī)，然而這只是一款38納米光刻機(jī)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)無法滿足中國的需求。

為此中國開始極力推動(dòng)國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，而哈工大就多次研發(fā)成功重要的光刻機(jī)技術(shù)，為國產(chǎn)光刻機(jī)的發(fā)展提供了有力支持，這次再研發(fā)成功EUV光刻機(jī)光源，為國產(chǎn)EUV光刻機(jī)的量產(chǎn)推進(jìn)了一大步。

ASML是一家荷蘭企業(yè)，為何美國能對(duì)ASML擁有如此巨大的影響力，原因就在于多年來美國為ASML提供了諸多的技術(shù)支持，將ASML從一家茍延殘喘的光刻機(jī)廠商變成如今的光刻機(jī)巨頭，占有光刻機(jī)市場(chǎng)近六成的市場(chǎng)份額。

2005年之前，全球的光刻機(jī)市場(chǎng)主要為日本的佳能、尼康占據(jù)，它們占有八成的市場(chǎng)份額，而ASML當(dāng)時(shí)甚至只能托庇在飛利浦旗下，而飛利浦只是給ASML一家毫不起眼的辦公室，畢竟當(dāng)時(shí)的ASML實(shí)在看不到希望。

2005年臺(tái)積電的林本堅(jiān)研發(fā)出浸潤式光刻機(jī)技術(shù)，而日本的佳能、尼康生產(chǎn)干式光刻機(jī)，它們看不上林本堅(jiān)的浸入式光刻機(jī)技術(shù)，那時(shí)候茍延殘喘的ASML找上了臺(tái)積電，孤注一擲研發(fā)浸潤式光刻機(jī)技術(shù)，由此迅速在光刻機(jī)市場(chǎng)打開局面。

此后美國希望打壓日本的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)，強(qiáng)制日本的光刻機(jī)企業(yè)貢獻(xiàn)先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)，后來美國更聯(lián)合ASML成立LCC EUV聯(lián)盟，卻排斥了佳能和尼康，由此ASML更成為全球唯一可以生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商，由此建立了ASML壟斷光刻機(jī)市場(chǎng)的地位，如此也就不奇怪為何ASML屢屢聽從美國的要求了。

如今中國在美國的壓力下，不斷加強(qiáng)國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，乃至哈工大先后拿出浸潤式光刻機(jī)技術(shù)、EUV光刻機(jī)技術(shù)，中國的光刻機(jī)廠商可望成為ASML之后另一家量產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)的廠商，打破ASML壟斷光刻機(jī)市場(chǎng)多年的局面，由此ASML近期慌亂之下表態(tài)指中國自研光刻機(jī)將打亂全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈，印證了中國在光刻機(jī)技術(shù)上的重大突破。